Вентильный источник мышьяка

₽ Вентильный источник мышьяка Совместимость вентильного источника мышьяка с установкой МЛЭ Riber Compact-21T, используемой Заказчиком Соответствие Управление потоком атомов мышьяка вентилем с помощью сервопривода Соответствие Диапазон рабочего регулируемого потока мышьяка, измеряемого в зоне роста От 1×10 в степени -7 Торр до 1×10 в степени -4 Торр Совместимость вентильного источника мышьяка с установкой МЛЭ Riber Compact-21T, используемой Заказчиком Соответствие Управление потоком атомов мышьяка вентилем с помощью сервопривода Соответствие Диапазон рабочего регулируемого потока мышьяка, измеряемого в зоне роста От 1×10 в степени -7 Торр до 1×10 в степени -4 Торр Управление температурой резервуара и крекера ПИД-регулирование совместимое с программным обеспечением Crystal, используемое заказчиком Установочный фланец источника CF40 Объем резервуара полезной загрузки мышьяком ≥ 500 Кубический сантиметр; миллилитр Диаметр камеры загрузки мышьяка (для размещения були массой 2220г) ≥ 65 Миллиметр Длина камеры загрузки мышьяка (для размещения були массой 2220г) ≥ 130 Миллиметр Совмещенный нагреватель резервуара и трубы подачи мышьяка к крекеру под блок питания (60Вх12,5А), используемый Заказчиком Наличие Максимальная температура резервуара ≥ 500